徐鹏：6000余块靶材零报废，匠心打磨芯片制造的“钢筋水泥”

  鲁网11月7日讯 为表彰激励先进典型，凝聚起团结奋进的强大力量，市总工会联合市委宣传部，共同开展了“德州市十佳新时代劳动者”选树宣传活动。11月6日，市委宣传部召开记者见面会，乐陵希森马铃薯产业集团有限公司国家马铃薯工程技术研究中心航天育种实验室主任王珍珍、华能德州电厂检修部电气队电气专责杜伟、有研亿金新材料（山东）有限公司工艺工程师徐鹏、德州哈特瑞姆心血管病医院心血管内科一病区代表胡福莉与记者面对面交流，讲述奋斗历程，分享劳动故事。市总工会党组成员、新闻发言人，市工人文化宫主任侯骞通报了“德州市十佳新时代劳动者”选树工作的开展情况。  徐鹏2008年参加工作，从事机械加工领域至今18年。入职时只是一名普通数控操作工，每天开机、对刀、装夹、拆件、测量，循环往复。徐鹏那几年埋头苦练，把枯燥的参数调试、繁琐的装夹步骤、极易出错的尺寸把控默默吃透，短短几年便熟练掌握了车间各类主流数控机床，成为班组公认的“熟手能手”。

  大多数操作员至此便安于现状，但他在日复一日的实操中发现了问题：工艺部下发的标准工艺，理论上完美合规，落地到车间却屡屡卡顿。2022年9月，一批精密产品工期紧张，原有工艺需要四道工序分步加工，来回拆装、反复定位，不仅耗时久，还易产生定位误差，班组加班赶工仍效率低下、瑕疵频出。那一刻徐鹏下定决心，逐一攻坚痛点，自主设计快捷工装50余套，让生产线更加规范化、标准化。

  从操作员转型工艺员是一场彻底的自我重塑。实操是徐鹏的强项，工艺理论却是短板，徐鹏便白天盯机床、晚上啃书本，笔记本上密密麻麻记满了现场问题、参数数据与改进思路。起初屡屡碰壁，有质疑声，但这些声音反而让他更坚定。2022年面对自动化线落地通线任务，徐鹏逐一复盘试验问题，结合金属切削理论，从装夹方式、刀具选型、切削转速、走刀路径全方位调整优化，最终攻坚出一套全新加工工艺，打通了“实操+理论”的壁垒。此后徐鹏持续深耕工艺优化，为企业与行业发展贡献力量。  靶材是制造芯片过程中必不可少的材料，如果芯片是高楼，靶材就是造楼必须的水泥和钢筋。

  靶材应用时在超高真空腔体，用高能离子（氩离子）轰击靶材表面，把靶材表面原子撞飞出来。飞出的原子均匀落到晶圆表面，沉积成只有几纳米厚的金属薄膜。后续光刻、刻蚀把薄膜加工成芯片里密密麻麻的金属线路，实现晶体管之间信号连通。靶材金属纯度极高，达到6个9以上，就是99.9999%，一点点杂质就会造成芯片漏电、报废；同时要求晶粒均匀、镀膜厚度一致。

  靶材的作用就是给芯片电路“铺金属导线”，没有高性能高纯靶材，芯片电路难以稳定导电，芯片无法可靠工作；所以靶材品质波动，直接影响芯片成品的性能。所以虽然大家对靶材比较陌生，但它却与我们大家的生活息息相关。

  材料质脆、高硬的特性，让加工难度极大，公司此前无超硬靶材自主机加工能力，长期依赖外部加工、受限于国外技术。团队通过深度工艺研究，设备、刀具开发调研及反复参数调试，于2025年底实现脆硬靶材自主机加工生产，成功打破技术垄断，补齐了公司脆硬靶材加工的技术短板。攻关路上瓶颈重重，徐鹏和徒弟日夜守在机床边不停尝试。一次次试验，一次次失败，但他们没有放弃，扛住压力啃下了这块硬骨头。技术攻坚没有捷径可走。也深刻理解了“失败是成功之母”这句话的含义。没有一次一次的失败，就没有现在的突破。（鲁网记者）